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高純氦氣可檢測(cè)微米級(jí)泄漏點(diǎn)
高純氦氣是一種無(wú)色、無(wú)味、沒(méi)毒的惰性氣體,常溫下為氣態(tài),具有廣泛工業(yè)用途。高純氦氣用在半導(dǎo)體制造,高純氦氣在晶圓加工中作為保護(hù)氣,防止高溫工藝時(shí)硅片氧化,確保元件性能穩(wěn)定性。高純氦氣用于光刻環(huán)節(jié)的冷凝系統(tǒng),控制激光器溫度波動(dòng),保障芯片良品率。
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