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高純氦氣在氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)中的應(yīng)用要旨
高純氦氣氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀,高純氦氣是一種應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外的真空容器檢漏先進(jìn)技術(shù)。與一般的檢漏技術(shù)相比,氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)快速、準(zhǔn)確、靈敏度高及無(wú)損傷性等優(yōu)點(diǎn)。氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。但通常選用氦氣,因?yàn)楹饩哂幸韵绿匦裕?/p>
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